优可发ptfe复合滤纸FFU过滤材料

 FFU循环系统的特点是由整个洁净室由静压层、工艺层、工艺辅助层和回风通道组成，由FFU提供循环空气的动力，将新风、循环风混合后通过过滤器送入工艺层和工艺辅助层，静压层相对于工艺层为负压。此外，还有生产辅助区为集成电路制造厂务设备区域，包括电力供应、气体和化学品供应、纯水供应等。

 

目前优可发自主研发的ptfe复合滤纸就是FFU风机过滤单元过滤器的核心过滤材料，具有H13-U16级别的可靠过滤等级，风阻低，能耗小，可以满足不同客户的不同等级要求的过滤材料。